科技博覽直拉單晶上排氣熱場(chǎng)與下排氣熱場(chǎng)分析連文翠(614200東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料有限公司)摘要:單晶硅發(fā)展前景;單晶硅生產(chǎn)方法簡(jiǎn)介;單晶硅在單晶硅拉制過(guò)程中,連續(xù)冋單贔爐膛充亼等量的髙純氬氣生產(chǎn)工藝流程;單晶爐熱場(chǎng)介紹;上排氣熱場(chǎng)和下排氣熱場(chǎng)分析;同時(shí)真空泵不斷地從爐膛內(nèi)向外抽氣,保持爐膛內(nèi)壓力穩(wěn)定氬氣無(wú)毒、無(wú)色、無(wú)味,不能燃燒,也不能助燃,是一關(guān)鍵詞:單晶硅;工藝流程;熱場(chǎng);排氣種惰性氣體。直拉單晶生產(chǎn)中,要求使用高純氬氣,露點(diǎn)≤55℃。氬氣在直拉單晶硅生長(zhǎng)過(guò)程中使熔硅的表面穩(wěn)定、固液、單晶硅生產(chǎn)方法界面平坦,有利于單晶的正常生長(zhǎng)。氬氣還能夠及時(shí)的帶走熱目前單晶硅行業(yè)中主要釆用的有兩種生長(zhǎng)單晶硅的方法。場(chǎng)中產(chǎn)生的氧、碳等多種揮發(fā)物,保證單晶的質(zhì)量Czochralski法(簡(jiǎn)稱CZ法),和 Float zone法(簡(jiǎn)稱浮熔法,或(2)下排氣熱場(chǎng)。下排氣熱場(chǎng)組成主要包括:壓環(huán)、保溫蓋FZ法)。CZ法生長(zhǎng)出來(lái)的單晶硅,主要用來(lái)生產(chǎn)低功率的集成上中下保溫罩、石墨坩堝(三瓣堝)、坩堝托桿、坩堝托盤、電極、電路;FZ法生長(zhǎng)出來(lái)的單晶硅,主要用來(lái)生產(chǎn)高功率的電子元加熱器、導(dǎo)流筒、石墨螺栓,且為了防止漏硅,爐底、金屬電件。CZ法單晶硅大約占了總產(chǎn)量的85%。極、托桿、都設(shè)置了保護(hù)板、保護(hù)套。下排氣熱場(chǎng)的設(shè)計(jì):保、直拉單晶硅工藝流程證熱場(chǎng)符合直拉單晶硅所要求的縱向及徑向溫度梯度的前提下,作業(yè)準(zhǔn)備→熱態(tài)檢漏→取單晶和籽晶→石墨件取出冷卻→在下保溫罩與單晶爐兩個(gè)抽氣口相對(duì)應(yīng)的地方開(kāi)兩個(gè)排氣口真空過(guò)濾器清洗→真空泵油檢査更換→石墨件清洗→單晶爐室通過(guò)真空泵的抽氣作用,將帶有揮發(fā)物的氣體抽離單晶熾清洗→石墨件安裝→石英坩堝安裝→硅料安裝→籽晶安裝→扣下排氣熱場(chǎng)氣體流向:氣流方向可以看出,氬氣從導(dǎo)流筒空、檢漏→充氬氣、升功率、熔料→引晶、縮頸、放肩、轉(zhuǎn)肩上方通到熔體液面,拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的廢氣(氬氣及揮發(fā)物)→等徑生長(zhǎng)→收尾→降功率、停爐冷卻經(jīng)加熱器和保溫桶的間隙,最終從下保溫罩的開(kāi)口部分,通過(guò)直拉單晶爐熱場(chǎng)管道被真空泵抽走。直拉單晶爐的熱系統(tǒng),也就是所謂的熱場(chǎng),是指為了熔化(3)上排氣熱場(chǎng)。上排氣熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)圖。上排氣熱場(chǎng)組成與硅料,并使單晶生長(zhǎng)保持在一定溫度下進(jìn)行的整個(gè)系統(tǒng)。它包下排氣熱場(chǎng)幾乎相同,包括:壓環(huán)、保溫蓋、上中下保溫罩括加熱器、保溫罩、保溫蓋、石墨坩堝、電極等部件,它們是石墨坩堝、坩堝托杄、坩堝托盤、電極、加熱器、導(dǎo)流筒、石由耐高溫的髙純石墨和碳?xì)植牧霞庸ざ傻?。煅燒時(shí),熱系統(tǒng)墨螺栓、保護(hù)板、保護(hù)套。上排氣熱場(chǎng)的設(shè)計(jì):保證熱場(chǎng)符合內(nèi)的溫度相對(duì)穩(wěn)定,稱為靜態(tài)熱場(chǎng);在單晶生長(zhǎng)過(guò)程中,熱場(chǎng)直拉單晶硅所要求的縱向及徑向溫度梯度的前提下,在上保溫是會(huì)發(fā)生變化的,稱為動(dòng)態(tài)熱場(chǎng)。罩的中部均勻地開(kāi)12個(gè)排氣口,通過(guò)真空泵的抽氣作用,將帶熱場(chǎng)的優(yōu)劣對(duì)單晶硅的質(zhì)量有很大影響。合適的熱場(chǎng),能有揮發(fā)物的氣體抽離單晶爐。上排氣熱場(chǎng)氬氣流向與下排氣熱夠生長(zhǎng)出高質(zhì)量的單晶。不好的熱場(chǎng)容易使單晶變成多晶,或場(chǎng)不同:氬氣從導(dǎo)流筒上方通到熔體液面,拉晶過(guò)程中產(chǎn)生的者根本無(wú)法引皛。因此,找到較好的熱場(chǎng)條件,配置最佳的熱場(chǎng),廢氣(氬氣及揮發(fā)物)經(jīng)上保溫罩的12個(gè)排氣孔,沿著保溫罩是非常重要的直拉單晶工藝技術(shù)。與爐壁的間隙,通過(guò)管道被真空泵抽走四、熱場(chǎng)溫度梯度六、下排氣熱場(chǎng)和上排氣熱場(chǎng)比較溫度梯度是指熱場(chǎng)中某點(diǎn)A的溫度指向周圍鄰近某點(diǎn)B的通過(guò)下排氣熱場(chǎng)和上排氣熱場(chǎng)的結(jié)構(gòu)以及氣流方向分析可溫度的變化率。也即單位距離內(nèi)溫度的變化率。以得出各自的特點(diǎn)。如圖1所示,A點(diǎn)到B點(diǎn)的溫度變化為T2-T1,距離變化為下排氣熱場(chǎng)優(yōu)點(diǎn):設(shè)計(jì)的兩個(gè)排氣孔位于下保溫罩上,氣r2-1。那么A點(diǎn)到B點(diǎn)的溫度梯度為“=五,通常用“表示流方向沿著加熱器和保溫桶間隙通過(guò)。因?yàn)闅饬鞑唤?jīng)過(guò)爐壁這種溫度在r方向上的變化率。對(duì)單晶爐爐壁的損害很小,上面殘留的氧化物少,清掃比較方便;T單晶爐設(shè)備的使用壽命也比較長(zhǎng)下排氣熱場(chǎng)缺點(diǎn):由于氣流在上保溫罩位置聚集,容易出現(xiàn)氧化物排走不暢,造成拉晶過(guò)程中有雜質(zhì)掉入堝內(nèi)的現(xiàn)象造成單晶成品率下降以及拉晶時(shí)間過(guò)長(zhǎng)等弊端。更重要的是圖1:溫度梯度氣流對(duì)加熱器、保溫桶等石墨件的沖刷,會(huì)導(dǎo)致石墨件的使用合理的熱場(chǎng)的溫度分布需要滿足以下條件:①晶體中縱向壽命大大降低,石墨件的成本很高。氣流經(jīng)過(guò)加熱器,會(huì)帶走溫度梯度足夠大,但不能過(guò)大,保證晶體生長(zhǎng)中有足夠散熱能一部分熱量,導(dǎo)致拉晶過(guò)程中的電耗比較高。力,帶走結(jié)晶潛熱。②熔體中的縱向溫度梯度比較大,保證熔上排氣熱場(chǎng)優(yōu)點(diǎn):上保溫罩上面設(shè)計(jì)出12個(gè)排氣孔,這些體內(nèi)不產(chǎn)生新的晶核,但是,過(guò)大容易產(chǎn)生位錯(cuò),造成斷苞。排氣孔保證在高溫下蒸發(fā)的氣體的排出,該熱場(chǎng)通過(guò)強(qiáng)制改變③結(jié)晶界面處的縱向溫度梯度適當(dāng)?shù)拇?從而形成必要的過(guò)冷保護(hù)氣體對(duì)流,降低加熱器熱量輻射而節(jié)省電能消耗。該熱場(chǎng)度,使單晶有足夠的生長(zhǎng)動(dòng)力,不能太大,否則會(huì)產(chǎn)生結(jié)構(gòu)缺陷;改變保護(hù)氣體的對(duì)流方式,確保了惰性氣體順利帶走單晶硅結(jié)徑向溫度梯度要盡可能小,使結(jié)晶界面趨于平坦晶時(shí)散發(fā)的結(jié)晶潛技化硅顆粒.有效免了一氧化硅顆五、下排氣熱場(chǎng)和上排氣熱場(chǎng)分析粒再次掉入溶液中國(guó)煤化工了因晶體位錯(cuò)而(1)熱場(chǎng)中的氬氣。直拉法生產(chǎn)硅單晶工藝盡管種類繁多,導(dǎo)致的單晶硅CNMHG象的出現(xiàn),能但大體可分為:真空工藝、氣氛工藝和減壓拉晶工藝。減壓拉夠有效的提高單晶學(xué),也能吵到電E。晶工藝在目前直拉單晶硅生產(chǎn)過(guò)程中被普遍采用。減壓拉晶是下排氣熱場(chǎng)缺點(diǎn):這種熱場(chǎng)也有不足的地方,由于氣流要220信息技術(shù)微課在信息技術(shù)教學(xué) Powerpoint中的運(yùn)用莫順天黃嶺娜(547008廣西壯族自治區(qū)河池市金城江區(qū)六圩鎮(zhèn)初級(jí)中學(xué)廣西河池)摘要:網(wǎng)絡(luò)信息時(shí)代教育的培養(yǎng)目標(biāo)除了要求學(xué)生具(三)讓學(xué)生在課堂上喜歡微課是提高教育質(zhì)量重要信息有德智體全面發(fā)展的基本素養(yǎng)外,還要培養(yǎng)良好的基于網(wǎng)絡(luò)的途徑自學(xué)習(xí)慣,實(shí)現(xiàn)從教師為中心向?qū)W生為中心的教學(xué)模式轉(zhuǎn)變。在教學(xué)中,充分運(yùn)用網(wǎng)絡(luò)資源,增強(qiáng)課程吸引力,激發(fā)學(xué)教師在進(jìn)行傳統(tǒng)課堂有時(shí)已不能滿足學(xué)生課堂需要了,我們要生探究知識(shí)的興趣,加深并鞏固學(xué)生對(duì)知識(shí)點(diǎn)的認(rèn)識(shí),促進(jìn)學(xué)對(duì)現(xiàn)代的課堂重新定位——翻轉(zhuǎn)課堂。微課就能很好運(yùn)用于這生自我學(xué)習(xí)能力,從而有效提高課堂教學(xué)效益,微課作為網(wǎng)絡(luò)種課堂教學(xué)模式,它既能代替課堂的新知識(shí)教學(xué)。又由于它不資源最基礎(chǔ)、最生動(dòng)、最形象的在線課程有著至關(guān)重要的意義,受時(shí)間、空間的限制,所以它可以在網(wǎng)絡(luò)上在線課后輔導(dǎo),微成為一種全新的教學(xué)方法。學(xué)生通過(guò)研究性學(xué)習(xí)活動(dòng),形成課時(shí)間須嚴(yán)格控制在十分鐘以內(nèi)。本文主要講述的是微課程在種積極的、生動(dòng)的、自主合作探究的學(xué)習(xí)方式即自主探究方式。Power Point的運(yùn)用,及其在信息技術(shù)教學(xué)中的應(yīng)用,從而給教利用網(wǎng)絡(luò)資源培養(yǎng)并提高學(xué)生的信息能力,提升學(xué)生素質(zhì)。為學(xué)提供一定的借鑒和指導(dǎo)。此教師可根據(jù)教學(xué)進(jìn)度和教學(xué)內(nèi)容,經(jīng)常地適時(shí)組織學(xué)生到電關(guān)鍵詞:微課作用;網(wǎng)絡(luò);信息技術(shù)教學(xué);Pω wer point.運(yùn)用子閱覽室進(jìn)行自主網(wǎng)絡(luò)探究。所以我們應(yīng)該充分發(fā)揮微課程的作用,讓學(xué)生有一個(gè)有效的“解惑”方法、校園網(wǎng)完善是微課活躍于課堂先決條件微課在多媒體課件 Power Point中的普遍使用,大向45分鐘要質(zhì)量”,這句話已不能充分展示現(xiàn)學(xué)校的代大提高了提高課堂教學(xué)化教育了,社會(huì)教育網(wǎng)絡(luò)化發(fā)展的趨勢(shì),已在我們教育教學(xué)中如何能有效解決實(shí)際教學(xué)問(wèn)題;具有針對(duì)性地解惑、啟惑有著不可缺少的教學(xué)工具了,近兩年來(lái)在教育部通過(guò)網(wǎng)絡(luò)對(duì)教能調(diào)動(dòng)學(xué)習(xí)者學(xué)習(xí)的主動(dòng)性。微課的引入,什么是微課呢?微師教育技術(shù)能力提升進(jìn)行培訓(xùn),發(fā)現(xiàn)¨翻轉(zhuǎn)課堂”不斷岀現(xiàn)在課作為一種媒體,微課程是指利用5~8分鐘時(shí)間講解一個(gè)重人們的視野中課堂上,實(shí)踐證明在“翻轉(zhuǎn)課堂”教育教學(xué)中“微要的知識(shí)點(diǎn)、考點(diǎn)或難點(diǎn)或者一個(gè)活動(dòng)的制作過(guò)程的一種微視課”是學(xué)生解決在課堂中遇到的難點(diǎn)的最好方法,特別是如今頻。對(duì)于在校教師而言利用PPT來(lái)制作的課件是一種常用的教國(guó)家對(duì)教育重視在全國(guó)農(nóng)村中小學(xué)校實(shí)現(xiàn)了“三通兩平臺(tái)學(xué)手段。在微課程中,PF課件既可以課件的形式供學(xué)生使用切實(shí)實(shí)現(xiàn)了“班班通”、“校校通”,交互式電子白板走進(jìn)教室,可將PP課件轉(zhuǎn)換成視頻文件格式,或直接利用 Power point2010完善的校園網(wǎng)絡(luò)建設(shè)是利用豐富的網(wǎng)絡(luò)教學(xué)資源的先決條件,的另存為命令,將PP課件直接存儲(chǔ)為視頻文件,可以運(yùn)用最并為教育教學(xué)效率的提高打下了良好基礎(chǔ)普遍的 Power point軟件來(lái)制作微課程。將一節(jié)課中的重點(diǎn)知識(shí)微課程在信息技術(shù)的作用,促進(jìn)教師技術(shù)能力提升,點(diǎn)拆分成一個(gè)個(gè)相對(duì)獨(dú)立的微小學(xué)習(xí)片段,這樣就能充分發(fā)揮提高了課堂教學(xué)質(zhì)量10分鐘以把本節(jié)課內(nèi)難點(diǎn)通過(guò)這個(gè)微課程呈現(xiàn)在學(xué)生前面,讓(一)豐富的微課資源是提高學(xué)校教學(xué)效率重要保障學(xué)生最快速度吸收了本節(jié)課的精華部分,提高了教學(xué)質(zhì)量,通面對(duì)豐富的網(wǎng)絡(luò)資源及現(xiàn)代化的網(wǎng)絡(luò)技術(shù)條件,網(wǎng)絡(luò)化的過(guò)網(wǎng)絡(luò)形式幫助有需要的學(xué)生在課下進(jìn)行自主學(xué)習(xí),既節(jié)省了教學(xué)以其獨(dú)有的特點(diǎn),迅速、準(zhǔn)確地進(jìn)行新知識(shí)的教學(xué)活動(dòng)。課堂時(shí)間,又能解決學(xué)生在課堂上沒(méi)有弄懂的疑問(wèn),方便學(xué)生就要將其充分運(yùn)用于教學(xué),為教學(xué)服務(wù),網(wǎng)絡(luò)化的教學(xué)卻也能網(wǎng)絡(luò)在線學(xué)習(xí)。實(shí)驗(yàn)證明微課程在PP中的應(yīng)用方便簡(jiǎn)捷,教以其獨(dú)有的特點(diǎn),迅速、準(zhǔn)確地進(jìn)行新知識(shí)的教學(xué)活動(dòng),從而師能在短期內(nèi)學(xué)會(huì)并用于教學(xué)課堂教學(xué),使學(xué)生得以受惠,學(xué)最終有利于學(xué)校教學(xué)效率的提高。生成績(jī)有了質(zhì)的變化二)教師網(wǎng)絡(luò)應(yīng)用能力與微課資源有機(jī)結(jié)合,促進(jìn)教育在PPT制作的課件中使用微課程,對(duì)課堂教學(xué)達(dá)到事半功教學(xué)的飛速發(fā)展倍效果,微課作為一種新的教學(xué)方式在PT中使用,具有教學(xué)要想將網(wǎng)絡(luò)資源中微課程資源充分運(yùn)用于教學(xué),為教學(xué)服信息資源主題鮮明、短小精悍、針對(duì)性強(qiáng),對(duì)知識(shí)點(diǎn)的講解透務(wù),就需要我們廣大的教師具有較高的與之相適應(yīng)得計(jì)算機(jī)水徹等特點(diǎn)。學(xué)生可借助微課進(jìn)行有針對(duì)性的學(xué)習(xí),在較短的時(shí)平,這對(duì)廣大教師來(lái)說(shuō)無(wú)疑是一個(gè)挑戰(zhàn)?，F(xiàn)在中國(guó)上下都在面間內(nèi)進(jìn)行新知的學(xué)習(xí)或者對(duì)已學(xué)的知識(shí)進(jìn)行鞏固和補(bǔ)漏,從而臨著中老交接問(wèn)題,教師隊(duì)伍中年比例重,充分發(fā)惲中青年教實(shí)現(xiàn)個(gè)性化教學(xué),提髙教學(xué)效果。微課是一種符合時(shí)代要求的師對(duì)他們進(jìn)行計(jì)算機(jī)能力培訓(xùn),在學(xué)校定期開(kāi)展計(jì)算機(jī)網(wǎng)絡(luò)應(yīng)產(chǎn)物,當(dāng)然微課在國(guó)內(nèi)發(fā)展仍處于起步階段,但前景無(wú)限,它課件制作的培訓(xùn),使之達(dá)到熟練應(yīng)用和制作的目的,提高能推動(dòng)教師培訓(xùn)和學(xué)生學(xué)習(xí)方式的改變,通過(guò)微課這種手段可了網(wǎng)絡(luò)資源的利用率,從而整體提高了教育教學(xué)水平。以使我們的課堂更加的快樂(lè)更高效。經(jīng)過(guò)單晶爐的爐壁,由氣流帶出的許多揮發(fā)物會(huì)殘留在爐壁上上排氣熱場(chǎng),都能夠找到適合的方案;有效地提高直拉單晶硅面,拉晶過(guò)程中爐壁的溫度也會(huì)因?yàn)闊釟饬鞯慕?jīng)過(guò)而變高,對(duì)的成品率,降低生產(chǎn)過(guò)程中的電耗,延長(zhǎng)熱場(chǎng)的使用壽命單晶爐的穩(wěn)定運(yùn)行產(chǎn)生影響,進(jìn)而會(huì)影響到單晶硅的穩(wěn)定生長(zhǎng);參考文獻(xiàn)還可能因?yàn)闇囟冗^(guò)高,使單晶爐設(shè)備造成一定損害,降低單晶[1]黃鋒,陳瑞潤(rùn),中國(guó)煤化工的研究現(xiàn)狀與爐的使用壽命發(fā)展趨勢(shì)U特種H器5-930七、結(jié)束語(yǔ)2鄧志杰,硅單晶科久U,神月重偶,2000,24(5):309總之,熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)不是一成不變的,不論是下排氣熱場(chǎng)還是一37-221