第27卷第6期半導(dǎo)體學(xué)報(bào)Vol.27 No. 62006年6月.CHINESE JOURNAL OF SEMICONDUCTORSJune,2006PSJ高壓器件的優(yōu)化設(shè)計(jì)陳萬軍*張波李肇基鄧小川(電子科技大學(xué)IC設(shè)計(jì)中心，成都610054)摘要:基于Semi-SJ(super junction)結(jié)構(gòu),提出了SJ的比例可以從0~1漸變的PSJ(partial super junction) 高壓器件的概念.通過對(duì)PSJ比導(dǎo)通電阻的分析,得到了PSJ高壓器件比導(dǎo)通電阻優(yōu)化設(shè)計(jì)的理論公式.計(jì)算了不同擊穿電壓的比導(dǎo)通電阻,并與二維器件模擬結(jié)果和實(shí)驗(yàn)結(jié)果相比較.討論了BAL(bottomassistlayer)部分穿通因素辦P型區(qū)深度歸一化參數(shù)r、p型區(qū)深寬比A以及PSJ漂移區(qū)摻雜濃度是否統(tǒng)一對(duì)PSJ高壓器件比導(dǎo)通電阻的影響.其理論結(jié)果和器件模擬結(jié)果相吻合,為設(shè)計(jì)與優(yōu)化PSJ高壓器件提供了理論依據(jù). PSJ結(jié)構(gòu)特別適于制造工藝水平不高、很難實(shí)現(xiàn)大的p型區(qū)深寬比的情況,為現(xiàn)有工藝實(shí)現(xiàn)高壓低導(dǎo)通電阻器件提供了一種新的思路.關(guān)鍵詞: partial super junction; RESURF; 擊穿電壓;比導(dǎo)通電阻EEACC: 2560; 2560B; 2560P中圖分類號(hào): TN386文獻(xiàn)標(biāo)識(shí)碼: A文章編號(hào): 0253-4177(2006)06-1089-05比的情況,為實(shí)現(xiàn)高壓低導(dǎo)通電阻器件提供了一種1引言新的思路.高壓MOSFET具有輸人阻抗大、開關(guān)速度快、2器件結(jié)構(gòu)與優(yōu)化設(shè)計(jì)熱穩(wěn)定性好等一系列獨(dú)特的優(yōu)點(diǎn)，目前在開關(guān)電源、馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、電子整流器等方面獲得了廣泛的應(yīng)用.對(duì)圖1給出了PSJ高壓器件結(jié)構(gòu)以及理想的電場(chǎng)于高壓MOSFET器件,獲得足夠高的擊穿電壓和分布.從圖1可知,PSJ由兩部分組成，即p/n相間盡可能低的比導(dǎo)通電阻是設(shè)計(jì)中需要同時(shí)考慮的兩的SJ部分以及單一摻雜的BAL部分.其SJ部分的個(gè)主要因素[~4].近年來,super junction(SJ)結(jié)構(gòu)引實(shí)現(xiàn)工藝與常規(guī)SJ結(jié)構(gòu)相同.起人們的廣泛關(guān)注.這種新結(jié)構(gòu)利用相互交替的n對(duì)圖1所示的SJ部分，當(dāng)器件處于關(guān)態(tài)時(shí)，由型層和p型層代替?zhèn)鹘y(tǒng)單一的n型漂移區(qū),在提高于SJ部分的n區(qū)和p區(qū)相互耗盡,SJ部分的電場(chǎng)擊穿電壓的同時(shí)減小比導(dǎo)通電阻,很大程度上打破也從傳統(tǒng)的三角形分 布(非穿通型)或梯形分布(穿了擊穿電壓與比導(dǎo)通電阻之間的“硅極限”(5~9].在通型)變成矩形分布.因此,SJ部分擊穿電壓BV1和常規(guī)SJ結(jié)構(gòu)中,p型區(qū)和n型區(qū)需要大的深寬比比導(dǎo)通電阻Ron_可以表示為[5.9]:(aspect ratio),以實(shí)現(xiàn)高壓低導(dǎo)通電阻.然而,現(xiàn)有BV: = Eetr(1)技術(shù)在實(shí)現(xiàn)大的深寬比時(shí)存在工藝復(fù)雜、制造成本2t]高等缺點(diǎn),大大限制了SJ 結(jié)構(gòu)在實(shí)際中的應(yīng)Ron_p =qμnNDI(2)用[10~12].最近,Satito等人提出一種Semi-SJ 結(jié)構(gòu)，式中E。 是臨界擊穿電場(chǎng);ts是SJ部分p型區(qū)深這種結(jié)構(gòu)由SJ和BAL( bottom assist layer) 兩部分度;q是電子電量;μn是電子遷移率;Nol是SJ部分構(gòu)成,不但具有優(yōu)良的電特性,而且工藝難度和制造n型區(qū)摻雜濃度.成本也大大降低1.1]1.從(1)和(2)式可知,SJ部分擊穿電壓與摻雜濃本文基于Semi-SJ 結(jié)構(gòu),提出了PSJ(partial su-度無關(guān),而增加No的濃度有利于降低比導(dǎo)通電阻..per junction)高壓器件的概念,其SJ部分的比例可但p區(qū)和n區(qū)的濃度和寬度必須滿足RESURF條以從0~1漸變,大大拓寬了Semi-SJ結(jié)構(gòu)的應(yīng)用范件[0]:圍. PSJ結(jié)構(gòu)不僅具有低的導(dǎo)通電阻,而且寄生體二Nol W。= NλWp = 2x 10l2cm-2 (3)極管的反向恢復(fù)特性也大大提1高121.1此結(jié)構(gòu)特別式中出叫是SJ部分n區(qū)和p適于制造工藝水平不高、很難實(shí)現(xiàn)大的p型區(qū)深寬區(qū)摻中國(guó)煤化工W。以增加器件元YHCNMHG*國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(批準(zhǔn)號(hào):60436030),國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):60576052) ,國(guó)防預(yù)研基金(批準(zhǔn)號(hào):51408060904DZ0211)資助項(xiàng)目↑通信作者. Email:cwjzcz@ yahoo. com. cn2005-10-21 收到2005-12-14定稿⑥2006中國(guó)電子學(xué)會(huì)1090半導(dǎo)體學(xué)報(bào)第27卷Ron_(10)qμnX 1012qμn N DE(op)其中BV- EctiSI|P|nBV,t2(opx) =0. 625E。(11)卡出WNeuo = 2(xonE。BV+ E.t.)E (12)BALBV2qtz ”↓n↓:圖1 PSJ結(jié)構(gòu)及理想電場(chǎng)分布Fig.1 PSJ structure and ideal electric field distribu-Pn°tion胞密度,減小器件電阻,則SJ優(yōu)化的比導(dǎo)通電阻為:Rau.plo =W.t__(4)qμnx1012而單一摻雜BAL部分,電場(chǎng)分布類似常規(guī)VDMOS.對(duì)于VDMOS高壓器件,采用穿通型結(jié)構(gòu)圖2穿通結(jié)與同襯底突變結(jié)耗盡層關(guān)系(陰影區(qū)面積為擊穿可以去掉VDMOS漂移區(qū)不必要的額外歐姆壓降，電壓)因此有圖1所示的電場(chǎng)分布(穿通型). BAL部分的Fig.2 Comparison of the depletion layer between the擊穿電壓BV2和比導(dǎo)通電阻Ro。n_ 職可以表示為[1:punch through structure and the abrupt junction struc-BV2 = trE。-D2 t經(jīng)(5)ture2e定義SJ的比例為a(a= t/(1+ txo)),則Rop_pe =qμnNp2(6)(10)式變?yōu)?式中t2 和Np2分別是BAL部分的漂移區(qū)長(zhǎng)度和Ron_grxop = (t + tz(opo) X摻雜濃度;e,是硅的介電常數(shù).aW+(1-0)] (13)對(duì)于BAL部分，漂移區(qū)越長(zhǎng),電阻率越高,擊qμnX 10qμn ND2(op)穿電壓也就越高,同時(shí)導(dǎo)通電阻也越大.因此,對(duì)于由于a的取值可以在0~1漸變,這就比Satito一定的擊穿電壓,BAL部分的漂移區(qū)長(zhǎng)度和摻雜濃等人提出的Semi-SJ更具代表性,也是本文稱為PSJ度需要優(yōu)化設(shè)計(jì).如圖2所示的穿通結(jié)與同襯底突所在.特殊地,a=0是常規(guī)VDMOS結(jié)構(gòu);a=1是變結(jié)耗盡層關(guān)系,設(shè)BAL長(zhǎng)度t2與同襯底突變結(jié)常規(guī)SJ結(jié)構(gòu).對(duì)確定的PSJ擊穿電壓和工藝條件耗盡層寬度Wm的比值為穿通因素n(η=lz/W∞，(t), W.)下,先由(11)式計(jì)算出優(yōu)化的txop,然后0