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GB/T 42709.5-2023 半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第5部分:射頻MEMS開關(guān)
- 標(biāo)準(zhǔn)類別:[GB] 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
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- 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):GB/T 42709.5-2023 半導(dǎo)體器件 微電子機(jī)械器件 第5部分:射頻MEMS開關(guān)
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時(shí)間:2023-11-04
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本文件界定了用于評(píng)估和確定射頻MEMS開關(guān)的基本額定值和特性的術(shù)語(yǔ)、定義和符號(hào),描述了參數(shù)測(cè)試方法。 本文件適用于各種類型的射頻MEMS開關(guān),射頻MEMS開關(guān)的一般說(shuō)明見附錄A。按接觸方式分類,包括直流觸點(diǎn)型開關(guān)和電容觸點(diǎn)型開關(guān);按結(jié)構(gòu)分類,包括串聯(lián)開關(guān)和并聯(lián)開關(guān),射頻MEMS開關(guān)的幾何結(jié)構(gòu)說(shuō)明見附錄B;按開關(guān)網(wǎng)絡(luò)分類,包括單刀單擲開關(guān)、單刀雙擲開關(guān)和雙刀雙擲開關(guān)等;按驅(qū)動(dòng)方式分類,包括靜電驅(qū)動(dòng)開關(guān)、熱電驅(qū)動(dòng)開關(guān)、電磁驅(qū)動(dòng)開關(guān)和壓電驅(qū)動(dòng)開關(guān)等。射頻MEMS開關(guān)在多頻帶或多模式移動(dòng)電話、智能雷達(dá)系統(tǒng)、可重構(gòu)射頻器件和系統(tǒng)、SDR(軟件無(wú)線電)電話、測(cè)試設(shè)備、可調(diào)諧器件和系統(tǒng)、衛(wèi)星等方面應(yīng)用廣泛,射頻MEMS開關(guān)的應(yīng)用說(shuō)明見附錄E。
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