GB/T 25915.2-2021 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration
- 標準類別:[GB] 國家標準
- 標準大?。?/li>
- 標準編號:GB/T 25915.2-2021
- 標準狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時間:2023-05-02
- 下載次數(shù):次
標準簡介
本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求。這個監(jiān)測計劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù),監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1μm~5μm粒子濃度的監(jiān)測。
本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護等監(jiān)測。超細粒子(小于0.1μm的粒子)濃度的監(jiān)測,將在另一個標準中規(guī)定。/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015
代替GB/T 25915.2-2010
潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境
第2部分:潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測
Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2: Monitoring to
provide evidence of cleanroom performance related to air
cleanliness by particle concentration
(ISO 14644-2:2015, IDT)
2021-08-20發(fā) 布 2022-03-01實 施
、 金鼷驃鞲艘髂發(fā)布
GB/T 25915.2-2021 /ISO 14644-2:2015
目 次
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標準截圖
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