本文件規(guī)定了監(jiān)測計劃的基本要求。這個監(jiān)測計劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù)，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。
本文件適用于粒徑0.1μm~5μm粒子濃度的監(jiān)測。
本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護等監(jiān)測。超細粒子（小于0.1μm的粒子）濃度的監(jiān)測，將在另一個標準中規(guī)定。/T 25915.2-2021/ISO 14644-2:2015 　　　　　　　　　　　　　代替GB/T 25915.2-2010 潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測 Cleanrooms and associated controlled environments-Part 2: Monitoring to 　 　 　 　 　 provide evidence of cleanroom performance related to air 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 cleanliness by particle concentration (ISO 14644-2:2015, IDT) 2021-08-20發(fā) 布 2022-03-01實 施 、 金鼷驃鞲艘髂發(fā)布 GB/T 25915.2-2021 /ISO 14644-2:2015 目 次 前 言 ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？ ？