本文件適用于評估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機械、測試設(shè)備、工藝設(shè)備、部件及工具等設(shè)備的適用性。根據(jù)GB/T 25915.1，關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為0.1 μm至大于或等于5 μm。 本文件不適用于： ——根據(jù)微生物污染評估適用性； ——對清潔劑及清潔技術(shù)的適用性進行測試； ——設(shè)備和材料的可清潔性； ——設(shè)備設(shè)計及材料選擇的要求； ——材料的靜電、熱學等物理性能； ——具體工藝場合設(shè)備性能的優(yōu)化； ——測試統(tǒng)計方法的選用； ——當?shù)匕踩ㄒ?guī)的條款和要求。