本文件規(guī)定了評(píng)定潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中設(shè)備和材料的適用性要求，提供了指南。 本文件不適用于以下內(nèi)容：健康和安全要求，清潔劑及清潔技術(shù)的相容性，清潔性，生物污染，工藝和產(chǎn)品對(duì)設(shè)備和材料的特定要求，設(shè)備的設(shè)計(jì)細(xì)節(jié)。