GB/T 33523.603-2022 產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第603部分:非接觸(相移干涉顯微)式儀器的標(biāo)稱特性
- 標(biāo)準(zhǔn)類別:[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
- 標(biāo)準(zhǔn)大?。?/li>
- 標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T33523.603-2022
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時間:2023-04-04
- 下載次數(shù):次
標(biāo)準(zhǔn)簡介
本文件規(guī)定了相移干涉法(PSI)輪廓和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測量顯微鏡的計量特性。
標(biāo)準(zhǔn)截圖
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