本文件適用于以氯硅烷、硅烷制得的電子級多晶硅(以下簡稱“多晶硅”)。
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GB/T 12963-2022 電子級多晶硅 GB/T 12963-2022 電子級多晶硅

GB/T 12963-2022 電子級多晶硅

  • 標準類別:[GB] 國家標準
  • 標準大?。?/li>
  • 標準編號:GB/T12963-2022
  • 標準狀態(tài):現(xiàn)行
  • 更新時間:2023-03-16
  • 下載次數(shù):
標準簡介

本文件規(guī)定了電子級多晶硅的牌號和類別、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則、標志、包裝、運輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。 本文件適用于以氯硅烷、硅烷制得的電子級多晶硅(以下簡稱“多晶硅”)。 替代GB/T 12963-2014

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