本文件規(guī)定了六氯乙硅烷中三氯氫硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他組分含量的氣相色譜測定方法。
本文件適用于六氯乙硅烷中三氯氫硅、四氯化硅、六氯乙硅烷及其他組分含量的測定，各組分的測定范圍（質量分 數）為不小于 0.001%。