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GB/T 25915.2-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration GB/T 25915.2-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

GB/T 25915.2-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第2部分：潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測Cleanrooms and associated controlled environments. Part 2: Monitoring to provide evidence of cleanroom performance related to air cleanliness by particle concentration

  • 標(biāo)準(zhǔn)類別：[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
  • 標(biāo)準(zhǔn)大?。?/li>
  • 標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 25915.2-2021
  • 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
  • 更新時(shí)間：2022-10-24
  • 下載次數(shù)：次
標(biāo)準(zhǔn)簡介

本文件規(guī)定了監(jiān)測計(jì)劃的基本要求。這個監(jiān)測計(jì)劃依據(jù)所測量的空氣中懸浮粒子濃度或?qū)ζ溆杏绊懙钠渌麉?shù)，監(jiān)測潔凈室或潔凈區(qū)按粒子濃度劃分的空氣潔凈度方面的性能。本文件適用于粒徑0.1μm~5μm粒子濃度的監(jiān)測。本文件不適用于振動或工程系統(tǒng)一般維護(hù)等監(jiān)測。超細(xì)粒子(小于0.1μm的粒子)濃度的監(jiān)測，將在另一個標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定。

標(biāo)準(zhǔn)截圖
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