GB/T 40344.1-2021真空技術(shù) 真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法 第1部分:總體要求Vacuum technology. Standard methods for measuring vacuum-pump performance. Part 1:General description
- 標(biāo)準(zhǔn)類別:[GB] 國家標(biāo)準(zhǔn)
- 標(biāo)準(zhǔn)大?。?/li>
- 標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T 40344.1-2021
- 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
- 更新時(shí)間:2022-10-24
- 下載次數(shù):次
標(biāo)準(zhǔn)簡介
GB/T 40344的本部分規(guī)定了三種體積流率測量方法,并分別規(guī)定了測量真空泵基礎(chǔ)壓力、壓縮比和臨界前級壓力的方法。測量體積流率的第一種方法(流量法)是一種基礎(chǔ)方法:向真空泵內(nèi)注人穩(wěn)定流量的氣體,同時(shí)測量泵的人口壓力。在實(shí)際測量中,氣體流量的測量可能是復(fù)雜或不精確的。為此,規(guī)定了另兩種方法,以避免直接測量流量。測量體積流率的第二種方法(小孔法)適用于人口壓力非常低(高真空或者超高真空)、流量非常小的情況。該方法是基于測量測試罩雙測試室中的壓力比。該測試罩由一個(gè)帶圓孔的薄壁分隔成兩個(gè)腔室。測量體積流率的第三種方法(抽氣法)是基于大型容器抽空的方法,非常適用于自動(dòng)化測量。通過抽氣間隔前后的兩個(gè)壓力值和測試罩的體積來計(jì)算體積流率。測量結(jié)果及最后得出的體積流率受不同條件影響,如漏率和放氣率、抽氣間隔過程中由于接近于等嫡膨脹引起的氣體冷卻、低壓分子流態(tài)下引起測試罩與真空泵之間連接管路的流阻增加。測量方法的選擇取決于特定種類真空泵的屬性。例如,只有需要配備前級泵的真空泵才需要測量臨界前級壓力。所有未在本部分中規(guī)定的真空泵的測量參數(shù)(例如功耗的測量),在相應(yīng)泵的標(biāo)準(zhǔn)中予以規(guī)定。
標(biāo)準(zhǔn)截圖
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