本文件規(guī)定了如何報(bào)告X射線(xiàn)光電子能譜的峰擬合及其結(jié)果。本文件適用于單個(gè)譜圖或一組相關(guān)譜圖的擬合,例如在深度剖析測(cè)試中采集獲得的一組相關(guān)譜圖。本文件提供了一個(gè)應(yīng)報(bào)告的參數(shù)列表,以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的峰擬合或?qū)Χ鄠€(gè)譜進(jìn)行擬合與比較。本文件不提供峰擬合的操作說(shuō)明,也不提供應(yīng)采用的擬合步驟。