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GB/T 11072-2009銻化銦多晶、單晶及切割片Indium antimonide polycrystal,single crystals and as-cut slices GB/T 11072-2009銻化銦多晶、單晶及切割片Indium antimonide polycrystal,single crystals and as-cut slices

GB/T 11072-2009銻化銦多晶、單晶及切割片Indium antimonide polycrystal,single crystals and as-cut slices

  • 標準類別:[GB] 國家標準
  • 標準大小:
  • 標準編號:GB/T 11072-2009
  • 標準狀態(tài):現(xiàn)行
  • 更新時間:2022-12-02
  • 下載次數(shù):
標準簡介

本標準代替GB/T11072-1989《銻化銦多晶、單晶及切割片》。本標準與GB/T11072-1989相比,主要有如下變化:---將原標準中直徑10mm~50mm 全部改為10mm~200mm;---在原標準的基礎上增加了直徑>50mm,厚度不小于1200μm,厚度偏差±40μm;---將原標準中位錯密度級別1、2、3中直徑≥30mm~50mm 全部改為≥30mm~200mm;---在原標準的基礎上增加了直徑為100mm、150mm、200 mm 的切割片直徑、參考面長度及其偏差;---將原標準中的附錄A 去掉,增加引用標準GB/T11297;---增加了訂貨單(或合同)內容一章內容。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出。本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分技術委員會歸口。本標準起草單位:峨嵋半導體材料廠。本標準主要起草人:王炎、何蘭英、張梅。本標準所代替標準的歷次版本發(fā)布情況為:---GB/T11072-1989。

標準截圖
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